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林賽斯TFA L59 薄膜分析儀，是一個高度集成的測量平臺。其獨特的預結(jié)構(gòu)化芯片設(shè)計，支持對通過多種方法制備的5nm至25μm薄膜，在單次測量中（-160°C至280°C）即可同時、同向獲取面內(nèi)導熱系數(shù)、電導率及塞貝克系數(shù)等關(guān)鍵參數(shù)，極大簡化了半導體、陶瓷等薄膜材料的研發(fā)表征流程。
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